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上传时间: 2021-02-11
详细说明：设计研制了一种小体积、低成本、可扩展的低电压非硅基底1×4微机电系统光开关。开关单元由电磁驱动,微反射镜绕直径100 μm转轴转动,驱动电压为5 V,开关时间小于2 ms,插入损耗小于0.84 dB,具有断电自锁功能。器件构造工艺采用微细电火花加工技术。用有限元法分析受力和磁场,进行结构优化设计,并着重介绍开关的实现及性能。
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