文件名称:
分光路二维剪切干涉强激光腔镜变形检测系统
开发工具:
文件大小: 1mb
下载次数: 0
上传时间: 2021-02-11
详细说明:介绍一种分光路二维剪切干涉光电检测系统。该系统实现了两正交方向(二维)同时进行检测与计算机自动化数据处理;采用了一系列消噪声措施和两图像相减等技术,使得波前重构中能较好地采用简单的数值积分方法;并得到了在士10μm的测量范围内,方差不超过0. 257μm和0. 05μm的灵敏度。利用该系统成功地对强激光腔镜变形过程实现了动态检测。
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