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上传时间: 2021-02-11
详细说明：报道了应用反应离子束溅射以及后退火工艺在石英玻璃以及Si(100)衬底上淀积混合相VOx多晶薄膜,并且在石英衬底上制备了实验用8元线列红外探测器.用扫描电镜(SEM)和X射线衍射仪(XRD)分别测试结果显示薄膜为表面光滑、致密且具有针状晶粒的混合相多晶结构,探测器的性能测试结果显示该探测器可以实现8～12μm的非致冷室温红外探测.
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