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上传时间: 2021-02-11
详细说明：研究了红移大失谐驻波光场在高功率的情况下对原子束的聚焦特性,数值结果显示在激光功率较高的情况下,有实现原子光刻的可能.在单线功率输出为P=7W,光斑尺寸为w0=0.1mm的Ar+离子激光束的条件下,Cr原子束在置于焦平面处的基板上所沉积的条纹半高宽度为20nm左右,对比度为4～5.提出了用增强腔来提高条纹对比度和减小色差的办法.在势阱深度增强2500倍时,沉积的条纹半高宽度为5nm～10nm,对比度约为7,条纹有了明显的改善.
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