文件名称:
GaAs衬底的固态杂质源脉冲1.06 μm激光诱导扩散
开发工具:
文件大小: 871kb
下载次数: 0
上传时间: 2021-02-11
详细说明：利用1.06 μm脉冲Nd:YAG激光,以含Zn的固态杂质源在化合物半导体GaAs基片上进行诱导扩散,作出了P-N结。获得了亚微米的扩散结结深及1020 cm-3量级的表面掺杂浓度,并利用二次离子质谱仪对扩散样品进行成分的逐层扫描分析,研究了结深和掺杂浓度与辐照激光脉冲数、单脉冲激光能量密度的关系。
(系统自动生成,下载前可以参看下载内容)
下载文件列表
相关说明
- 本站资源为会员上传分享交流与学习,如有侵犯您的权益,请联系我们删除.
- 本站是交换下载平台，提供交流渠道，下载内容来自于网络，除下载问题外，其它问题请自行百度。
- 本站已设置防盗链，请勿用迅雷、QQ旋风等多线程下载软件下载资源，下载后用WinRAR最新版进行解压.
- 如果您发现内容无法下载，请稍后再次尝试；或者到消费记录里找到下载记录反馈给我们.
- 下载后发现下载的内容跟说明不相乎，请到消费记录里找到下载记录反馈给我们，经确认后退回积分.
- 如下载前有疑问，可以通过点击"提供者"的名字，查看对方的联系方式，联系对方咨询.
