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上传时间: 2021-02-10
详细说明：光固化是光束与光敏树脂之间的光化学反应, 其作用过程对光固化加工分辨率有着直接影响。基于光子输运理论, 利用蒙特卡罗方法追踪光子在树脂中的运动轨迹, 对曝光光束入射、传输过程进行抽样, 建立了微细光束固化模型; 利用遗传算法并结合光固化实验重构获得了树脂材料的光学参数; 利用该固化模型, 模拟计算了微细会聚紫外光束(λ=365 nm)单点曝光固化过程和固化单元点的形状和大小, 分析了不同曝光量对固化结果的影响规律, 计算结果与实验结果一致。研究表明,该模型可以有效地对微细光束与光敏树脂作用的复杂过程进行仿真, 并能对不同入射光和曝光工艺条件下的固化物进行模拟计算, 为微细光固化机理的研究和工艺优化提供了基础。
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