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文件名称: 基于图像锁相的薄膜吸收多通道检测技术
  所属分类: 其它
  开发工具:
  文件大小: 4mb
  下载次数: 0
  上传时间: 2021-02-10
  提 供 者: weixin_********
 详细说明:从理论和应用两方面对光学薄膜吸收缺陷的检测方法进行了研究。基于CCD摄像机的图像锁相技术, 提出了不同于传统逐点扫描方法的多通道薄膜吸收检测方法。基于逐点扫描法和图像检测法, 分别计算了大区域内薄膜单点缺陷所对应的吸收分布, 结果证明了图像法应用于较大口径薄膜元件吸收检测的可行性。计算和实验表明:相对于逐点法, 图像法测量薄膜速度可以提高上百倍, 避免了逐点扫描法中耗时长、效率低的不足, 扩展了光热技术在大口径镀膜光学元件中的应用。
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