文件名称:
一种具有亚波长光栅结构的光探测器的设计
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文件大小: 2mb
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上传时间: 2021-02-10
详细说明：高速智能光纤通信系统和网络的飞速发展对光电探测器提出了更高要求。利用严格耦合波(RCWA)理论，给出了在亚波长光栅(SWG)下方具有分布布拉格反射镜(DBR)结构的理论分析模型，将这种结构作为反射镜应用于谐振腔增强型光探测器(RCE PD)的设计中。仿真表明由于SWG的引入，只需要4对λ/4厚度的InGaAsP/InP系DBR，可使整体膜系结构实现在中心波长1.55 μm处反射率达到99.7%，在1.40 μm至1.62 μm范围内反射率高于99%。引入SWG后的RCE PD在1.55 μm附近的量子效率接近90%，串扰衰减系数与量子效率的乘积超过15 dB。有效地解决了InGaAsP/InP介质膜系DBR 作为谐振腔反射镜反射率低、反射带宽窄的问题。
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