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上传时间: 2021-02-09
详细说明：本文介绍新近研制成功的作为电子束曝光用的激光定位干涉系统.文章介绍了光学系统,光路计算结果,并阐述了利用检偏器调节干涉条纹相位的新方法,其定位精度为±0.04μm.
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