开发工具:
文件大小: 3mb
下载次数: 0
上传时间: 2021-02-09
详细说明：在高功率激光系统中，大口径元件的中频波前影响系统的安全运行，中频波前均方根(PSD1)是用来评价中频波前质量的关键参数。由于大口径干涉仪在系统传递函数(STF)上不能完全满足中频波前的检测要求，提出采用小口径高分辨率干涉仪检测的统计分析方法，建立了统计理论模型，分析了测量不确定度。建立了子区域PSD1检测装置，提出了子区域倾斜补偿法，提高了检测精度。理论及实验结果表明针对400 mm×400 mm分析区域，子区域数量设置为4×4，置信水平为95.4%时，测量不确定度为±0.266 nm。该方法与大口径干涉仪检测法的对比实验表明，400 mm×400 mm分析区域内检测结果偏差小于5%。子区域统
(系统自动生成,下载前可以参看下载内容)
下载文件列表
相关说明
- 本站资源为会员上传分享交流与学习,如有侵犯您的权益,请联系我们删除.
- 本站是交换下载平台，提供交流渠道，下载内容来自于网络，除下载问题外，其它问题请自行百度。
- 本站已设置防盗链，请勿用迅雷、QQ旋风等多线程下载软件下载资源，下载后用WinRAR最新版进行解压.
- 如果您发现内容无法下载，请稍后再次尝试；或者到消费记录里找到下载记录反馈给我们.
- 下载后发现下载的内容跟说明不相乎，请到消费记录里找到下载记录反馈给我们，经确认后退回积分.
- 如下载前有疑问，可以通过点击"提供者"的名字，查看对方的联系方式，联系对方咨询.
