文件名称:
子孔径拼接检测光学系统波前机械定位误差补偿算法
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文件大小: 2mb
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上传时间: 2021-02-09
详细说明：为了实现大口径光学系统波前子孔径拼接干涉测量，保证子孔径采样数据准确定位，提出了子孔径拼接定位补偿算法。介绍了该算法原理，分析了该算法子孔径定位误差补偿能力。首先根据被检光学系统和子孔径口径大小规划出采样子孔径布局，在子孔径采样装置机械精度误差范围内对子孔径进行拼接，根据所求子孔径定位误差补偿系数和调整误差系数，得到被检全孔径波前，完成大口径光学系统波前的拼接检测。通过仿真验证了该算法的可行性，在机械平移定位精度为1 mm和转动角定位精度为0.5°时，用该算法实验检测口径为200 mm的光学系统平面波前。检测结果表明该算法稳定可靠，能有效补偿机械精度引起的子孔径定位误差，从而可放宽对机械定位精度的要求。
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