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上传时间: 2021-02-09
详细说明：为了获得具有高质量光学表面的非球面碳化硅反射镜，需对碳化硅反射镜表面进行改性。介绍了离子束辅助沉积硅的碳化硅表面改性技术。对改性样片表面硅改性层的机械性能、光学加工性、表面粗糙度及反射率等特性进行研究。实验结果表明，碳化硅表面的硅改性层具有优良的机械性能和良好的光学加工性。光学抛光后，碳化硅表面硅改性层的表面粗糙度为0.85 nm\[均方根(RMS)值\]，在可见光波段反射率最高可达98.5%(镀银反射膜)。采用数控加工方法对口径为Ф600 mm的表面改性离轴非球面碳化硅反射镜进行加工，最终反射镜面形精度的RMS值达到0.018λ（λ=0.6328 μm），满足高精度空间非球面反射镜的技术指标
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