文件名称:
InGaAs探测器片上集成滤光膜的微结构与性能
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上传时间: 2021-02-09
详细说明：为了适应未来红外焦平面探测器系统小型化、集成化和高精度的发展要求，采用了热蒸发方法分别在InP衬底和InGaAs探测器上实现了中心波长为1.38 μm滤光膜的片上集成。利用偏光显微镜、原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)以及红外傅里叶光谱(FTIR)等实验手段研究了滤光膜的表面界面形貌和光学性能，结果显示，滤光膜为法布里珀罗三谐振腔结构，与膜系设计一致；滤光膜中心波长为1.38 μm，透射率在60%左右。对集成滤光膜InGaAs器件的电学和光学性能测试分析表明，滤光膜制备工艺对器件的电流电压特性和噪声基本没有影响；而集成滤光膜器件的响应要优于滤光膜分离器件的性能。
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