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上传时间: 2021-02-09
详细说明：类金刚石(DLC)膜具有宽光谱高透射率、高硬度、高热传导及高稳定性等优点，是红外窗口增透保护膜的优选，但现有方法制备的类金刚石膜难以满足高马赫数或海上盐雾等恶劣条件下的应用。激光法相比其他制备方法具有诸多优点，介绍了激光法制备DLC膜的原理及特点，并分析了实现工程应用的难题及关键技术。采用激光沉积法制备出综合性能优异的类金刚石膜，纳米硬度高达44 GPa、内应力仅0.8 GPa、临界刮擦载荷附着力为59.1 mN。正面镀DLC膜，背面镀普通增透膜的硫化锌、硅、锗等红外窗口的平均透射率达82%~91%。实现了150 mm基片的激光法大尺寸均匀薄膜，膜厚不均匀性≤±2%。制备的DLC膜红外窗口通
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