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文件名称: 硅薄膜的短波红外光学特性和1.30 μm带通滤光片
  所属分类: 其它
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  文件大小: 1mb
  下载次数: 0
  上传时间: 2021-02-09
  提 供 者: weixin_********
 详细说明:在短波红外区域(1~3 μm),硅薄膜材料因其具有折射率高、透明性好、膜层应力易匹配等诸多优点而得到广泛应用。基于改进后的Sellmeier模型拟合出了制备的硅薄膜的短波红外光学特性,以此为基础,选用硅和二氧化硅两种材料,设计并制备出中心波长在1.30 μm,相对带宽2.46%的带通滤光片。利用了硅薄膜在波长小于1.0 μm波段的吸收特性较好地扩展了带外截止范围。测量结果表明,具有2个谐振腔的带通滤光片峰值透射率达到85.8%,半功率带宽控制在约32 nm,带外截止范围覆盖了波长小于1.75 μm的光谱区域。
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