开发工具:
文件大小: 1mb
下载次数: 0
上传时间: 2021-02-09
详细说明：采用时域有限差分方法(FDTD)对探针诱导表面等离子体共振耦合纳米光刻(PSPRN)技术中探针的引入对表面等离子体共振(SPR)产生的影响进行了模拟分析，以获得最佳的光刻实验条件。结果表明，高斯光束聚焦光斑越小，SPR场增强效应也越小。接触模式下，针尖曲率半径为10 nm的硅(Si)，35 nm，100 nm的金(Au)探针，分别使SPR共振角变化了0，0.8°和1°。且对于Au探针，针尖曲率半径大的，针尖处的局域场增强效应要小。分析表明，采用针尖曲率半径为10 nm的Si或35 nm的Au探针，在合适的SPR膜层上通过调整光入射角度，很有可能实现50 nm的光刻记录点。
(系统自动生成,下载前可以参看下载内容)
下载文件列表
相关说明
- 本站资源为会员上传分享交流与学习,如有侵犯您的权益,请联系我们删除.
- 本站是交换下载平台，提供交流渠道，下载内容来自于网络，除下载问题外，其它问题请自行百度。
- 本站已设置防盗链，请勿用迅雷、QQ旋风等多线程下载软件下载资源，下载后用WinRAR最新版进行解压.
- 如果您发现内容无法下载，请稍后再次尝试；或者到消费记录里找到下载记录反馈给我们.
- 下载后发现下载的内容跟说明不相乎，请到消费记录里找到下载记录反馈给我们，经确认后退回积分.
- 如下载前有疑问，可以通过点击"提供者"的名字，查看对方的联系方式，联系对方咨询.
