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上传时间: 2021-02-08
详细说明：利用有限元分析软件ANSYS对蓝宝石基GaN薄膜的应力进行了模拟分析，并通过理论计算验证了其合理性。模拟出了蓝宝石基GaN薄膜应力的分布情况。分析了应力与沉积温度、薄膜厚度、衬底厚度的关系，同时研究了不均匀温度分布对应力的影响。模拟结果显示：薄膜上表面在径向上，中心处热应力最大，薄膜边缘应力发生了突降，其他部分应力分布比较均匀。研究表明沉积温度升高、薄膜厚度减小以及衬底厚度增大都会使热应力变大。衬底径向温度不均匀时，热应力有增大的趋势，且温差越大，热应力就越大。
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