文件名称:
基于激光扫描法的非接触式光学元件曲率半径测量系统
开发工具:
文件大小: 6mb
下载次数: 0
上传时间: 2021-02-07
详细说明：介绍了基于激光扫描法的非接触式光学元件曲率半径检测系统，该系统大大提高了光学元件粗磨后曲率半径检测的自动化程度，实现了软硬件结合的一键式面形数据获取。该系统利用x/y轴二维平移台的运动实现网格扫描，同时基于激光扫描法测量面形弧高，并附加有z轴升降台扩展弧高量程。设计了上位机控制程序和人机交互界面，使系统在后期使用中更为灵活便捷。编写了曲面拟合算法，最终实现光学元件面形数据的自动采集、拟合以及相关光学参数的计算，可完成对多种光学元件面形的非接触式检测。实验结果表明，无论待测光学元件的表面落差是否超出激光头测量范围，系统均能完整采集所需面形数据，经过误差处理后，测量精度优于±0.15 %，满足粗磨检测要求。
(系统自动生成,下载前可以参看下载内容)
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