文件名称:
波纹膜片式法布里-珀罗光纤微压传感器的设计和测试
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上传时间: 2021-02-07
详细说明：近年来，微压传感器正经历由电子微压传感器向光学微压传感器发展的阶段。微型法布里-珀罗（F-P）压力传感器通常有毛细管结构和膜片结构两种，其中，膜片式法布里-珀罗传感器结构简单、测量精度高、抗电磁干扰、化学性质稳定，且普遍体积小、质量轻，便于集成传感网络，能在狭窄空间和恶劣环境下正常工作，在工程建设中具有很大的应用价值。本文设计并制作了波纹膜片式F-P光纤微压传感器，利用商用法兰盘进行光纤的固定及较准，结构简单，价格低廉且工作稳定；搭建了微压传感器的压力测试系统，测得传感器具有良好的线性度、迟滞性和重复性且灵敏度高，适于批量生产。
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