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上传时间: 2021-02-06
详细说明：用电子束蒸发沉积在K9玻璃基底上镀制HfO2薄膜，沉积温度为200 ℃，蒸发速率为0.03 nm/s。由X射线衍射谱可知薄膜出现明显结晶，且为单斜相和正交相混合结构，其中单斜相占明显优势。用Jade5软件分析得到单斜相HfO2的晶格常数a,b,c以及晶格矢量a和c之间的夹角β。基于得到的晶格常数建立了单斜相HfO2薄膜的晶体结构模型。同时建立固态单斜相HfO2的晶体结构模型进行对比。通过密度泛函理论（DFT）框架下的平面超软赝势法，采用两种不同的交换关联函数：局域密度近似(LDA)中的CA-PZ和广义梯度近似(GGA)中的质子平衡方程(PBE)，计算了薄膜态和固态单斜晶相HfO2的弹性刚度系数
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