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不同气氛下ZnO薄膜的准分子激光辐照效应
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上传时间: 2021-02-05
详细说明：研究了不同气氛下（空气、氧气和氮气）248 nm准分子激光辐照对ZnO薄膜光致发光谱和电学性质的影响；采用高斯线形对不同气氛下激光辐照ZnO薄膜的光致发光谱进行了拟合，并对位于3.31、3.28、3.247、3.1 eV附近的发光峰进行了归属指认和机理分析。激光辐照ZnO薄膜导致紫外光致发光峰强度明显下降并伴有少量红移，并且使得位于3.274 eV的一级声子伴线(D0X-1LO)发射峰和位于3.203 eV的二级声子伴线(D0X-2LO)发射峰合并形成一个峰。富氧条件下激光辐照ZnO薄膜会造成受主浓度增加，施主浓度减少；而缺氧条件下激光辐照ZnO薄膜会造成受主浓度减少，施主浓度增加。激光辐照后
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