文件名称:
大口径大偏离量非球面反射镜复合检测技术
开发工具:
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上传时间: 2021-02-05
详细说明：为了克服大口径大偏量非球面面形测量的困难，将光学干涉技术、零位补偿技术、哈特曼波前探测技术和子孔径拼接技术融合在一起，提出了大口径非球面复合检验技术。对该方法的基本原理和具体实现过程进行了分析和研究。当非球面研磨完成后，搭建零位补偿干涉光路，并使光路转折，利用动态范围很大的哈特曼波前传感器对大口径非球面反射镜进行多个子孔径相位数据的测定，并通过子孔径拼接算法求解得到非球面整个口径的面形误差分布。当非球面面形误差的峰谷(PV)值小于5λ（λ=632.8 nm）时，利用复合检测技术对一大口径非球面进行了检验，两种方法得到的全口径面形误差分布的PV值和均方根(RMS)误差值的偏差仅为0.11λ和0.004λ，根据复合测试结果指导非球面后续加工，最终非球面全口径面形误差的RMS值优于λ/50。
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