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文件名称: 用于组合式加热和冷却设备的加热部件
  所属分类: 专业指导
  开发工具:
  文件大小: 2mb
  下载次数: 0
  上传时间: 2010-05-16
  提 供 者: zxcs****
 详细说明: 加热部件和有关方法,用来处理基底(13)例如微电子器件,加热部件包括一个导热层(20),导热层制备成具有上好平面度,而且还具有有利于快速、灵活而且均衡地进行热传递的热传递特性,该导热层优选采用陶瓷材料构成。该加热部件包括一个多层加热元件。
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