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上传时间: 2010-05-16
详细说明: 加热部件和有关方法,用来处理基底(13)例如微电子器件,加热部件包括一个导热层(20),导热层制备成具有上好平面度,而且还具有有利于快速、灵活而且均衡地进行热传递的热传递特性,该导热层优选采用陶瓷材料构成。该加热部件包括一个多层加热元件。
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