文件名称:
C-V测量技术、技巧与陷阱——C-V测量技术连接与校正
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上传时间: 2021-01-20
详细说明:尽管很多C-V测量技术本身相对简单,但是以一种能够确保测量质量的方式实现C-V测试仪与探针台的连接却不是那么简单。目前探针台使用的机械手和探针卡多种多样,当我们试图在一个探针台上同时支持I-V、C-V和脉冲式或超快I-V测量时,它们就会带来一些实际的问题。当进行I-V、C-V或超快I-V测量时,测量结果的质量与线缆的品质和所采用的探针台配置直接相关。
直流I-V测量[1]采用低噪声同轴线缆和远程探测线。C-V测量需要使用具有远程探测线的同轴线缆,而且线缆长度要控制的非常。超快I-V测试需要50欧姆的同轴线缆,但是远程探测线却给超快I-V测试带来了阻抗失配的问题。射频C-V测量需要使用特殊
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