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上传时间: 2021-03-20
详细说明：晶圆图的缺陷识别对于确定晶圆缺陷成因至关重要，特别是混合模式缺陷。我们在某晶圆制造厂采集了大量的晶圆图数据，这些晶圆图是通过对晶圆片上的每一个晶粒进行电学性能测试得到。但实际采集到各类型的晶圆图在数量分布上存在较大差异，为了保持各类型数据间的平衡，我们采用对抗生成网络生成了部分晶圆图。最终形成了约38000张的混合模式晶圆图缺陷数据集，用于识别混合模式晶圆图缺陷，并辅助晶圆制造工艺中缺陷成因的研究。
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