说明: MEMS 技术显示了其在微波领域的巨大应用潜力。利用RF MEMS 开关制造的RF MEMS 移 相器具有插损小、功耗低、宽带宽、体积小等优点,因此成为研究的热点。本文对国际上R F M E M S 的研究和发展进行了比较全面的综述,并介绍了DMTL 移相器,该移相器在DC~30GHz 范围内具有较好 的线性度,在20GHz 时相移为0°/11.6° /32.6°/48.5°,反射损失好于-11dB,插损小于-1.8dB。最后分 析了各种移相器的特点和设计、制造的难点,对M E M S 移相器 <fht20063089> 上传 | 大小:168kb