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[其它] 一款基于MEMS的紧凑型红外光谱仪,用于多气体测量
说明:已经开发了一种基于中红外线性可变光学滤光片(LVOF)和基于MEMS的红外热电堆探测器阵列的显微光谱仪,用于室内和工业环境中的多种气体传感。 介绍了LVOF和热电堆探测器的设计,制造和特性。 在实验上,LVOF在〜2.5〜5 um的工作光谱中心波长处表现出〜400 nm的平均FWHM和〜70%的平均峰值透射率。 热电堆探测器使用p和n多晶硅/ Al金属作为热电偶材料,其电阻温度系数为0.08%/℃,响应度为112 V / W。 LVOF可被视为安装在热电探测器阵列上方的窄带滤波器阵列,以形成便携<weixin_38555304> 上传 | 大小:1mb