说明: 计算机网络基础设计实训报告和知道思想,实验原理 在具有压阻效应的半导体材料上用扩散或离子注入法,摩托罗拉公司设计出X形硅压力传感器如下图所示:在单晶硅膜片表面形成4个阻值相等的电阻条。并将它们连接成惠斯通电桥,电桥电源端和输出端引出,用制造集成电路的方法封装起来,制成扩散硅压阻式压力传感器。 扩散硅压力传感器的工作原理:在X形硅压力传感器的一个方向上加偏置电压形成电流 ,当敏感芯片没有外加压力作用,内部电桥处于平衡状态,当有剪切力作用时,在垂直电流方向将会产生电场变化 ,该电场的变化引起电位变
<dubaocai521> 上传 | 大小:660kb