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文件名称: IC工艺知识问答很好的教程
  所属分类: 专业指导
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  上传时间: 2009-05-03
  提 供 者: ZOU443******
 详细说明: HF 酸(氢氟酸)对人体危害如何? 答:HF 会渗入皮肤组织,腐蚀骨头. HF 酸(氢氟酸)对人体危害如何急救? 答:患部大量涂抹或注射葡萄糖钙。 接触到强酸或强碱应如何处理? 答:(1) 立即以大量清水冲洗至少 20分钟。(2) 视状况是否送医急救。 何谓 MTBF? (mean time between failure) 答:平均多少当机一次 何谓蚀刻(Etch)? 将形成在晶圆表面上的薄膜全部,或特定处所去除至必要厚度的制程。 蚀刻种类: (1) 干蚀刻(2) 湿蚀刻 蚀刻对象依薄膜种类可分为: poly,oxide, metal 半导体中一般金属导线材质为何? 鵭线(W)/铝线(Al)/铜线(Cu) 何谓 dielectric 蚀刻(介电质蚀刻)? Oxide etch and nitride etch 半导体中一般介电质材质为何? 氧化硅/氮化硅 何谓湿式蚀刻 利用液相的酸液或溶剂;将不要的薄膜去除 ...展开收缩
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