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上传时间: 2018-01-23
详细说明： MEMS (Micro Electromechanical System，即微电子机械 系统) 是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接 口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。概括起来MEMS 具有以下几个基本特点，微型化、智能化、多功能、高集成度 和适于大批量生产. MEMS技术的目标是通过系统的微型化、集成化来探索具 有新原理、新功能的元件和系统。MEMS技术是一种典型的多 学科交叉的前沿性研究领域，几乎涉及到自然及工程科学的所 有领域，如电子技术、机械技术、物理学、化学、生物医学、 材料科学、能源科学等
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