文件名称:
基于静电力的可溯源微悬臂梁刚度标定方法.pdf
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上传时间: 2019-09-20
详细说明： 基于静电力的可溯源微悬臂梁刚度标定方法.pdf,许多研究机构都建立了微纳力值测量系统，并达到了非常高的测量精度。但是，对微纳力值的传递却很少研究。采用无源悬臂梁作为微纳力值传递标准，提出基于静电力原理的“类参考梁法”悬臂梁刚度测量方法。该方法可准确且便捷地测量悬臂梁刚度，并将其溯源至长度、电压、电容等国际单位（SI）。应用类参考梁法，对刚度范围在1.45 ~ 91 N/m的悬臂梁刚度进行测试，相对方差均小于0.6%，结果表明，类参考梁法具有很好的稳定性。许多因素将影响测量结果，对导致测量误差的因素进行逐一分析。类参考梁法悬臂梁刚度测量合成不确定度低于5%，表明该方法具有可行性。类参考梁法有效改善了悬臂梁刚度测试的不确定度，在AFM高精度微纳力值测量中具有重要的 意义。
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