文件名称:
元器件应用中的基于SCR结构的纳米工艺ESD防护器件研究
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文件大小: 427kb
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上传时间: 2020-10-20
详细说明：摘要：本文主要针对用于ESD防护的SCR结构进行了研究。通过对其ESD泄放能力和工作机理的研究，为纳米工艺下的IC设计提供ESD保护。本文的研究主要集中在两种常见的SCR上，低触发电压SCR（LVTSCR）与二极管辅助触发SCR（DTSCR）。本文也对以上两种SCR结构进行了改进，使得其能够在不同工作环境和相应电压域下达到相应的ESD防护等级。本文的测试与分析基于传输线脉冲测试仪（TLP）与TCAD仿真进行，通过对SCR中的正反馈工作机理的阐述，证明了SCR结构是一种新颖有效的ESD防护器件。
1 引言静电放电（ESD）现象，一直是困扰集成电路设计与制造的一个难题。在整个集成电路的制造。
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