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上传时间: 2020-11-13
详细说明：从电学结构分，可分为
（1）PIN结构：通过PIN［15］结构的正偏或反偏来实现载流子的注入或耗尽。其特点是制作工艺较简单，集成度差，响应频率较低，从几百kHz到几MHz。如果截面做得小，则调制频率可达几十兆赫兹甚至更高。其结构如图1所示。
图1 PIN结构调制臂截面
（2）双极场效应管结构［16］（BMFET）：通过对端电压的控制来实现载流子的注入或耗尽。工艺较PIN复杂，响应频率较高，从几MHz到几十MHz。其截面示意如图2所示。
图2 BMFET结构调制器调制臂截面示意图
（3）金属－氧化物－半导体结构［17］（MOS）：通过对栅电压的控制来实现
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