文件名称:
嵌入式系统/ARM技术中的微机电系统集成与性能、成本和可靠性的综合考虑
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文件大小: 106kb
下载次数: 0
上传时间: 2020-11-27
详细说明：MEMS是否集成具有争论性，集成是实现高性能、低价格、高可靠性与高质量的唯一办法，但其研发和生产投入较大，需要较大的批量来支持，而且要解决可行的工艺问题。本文分析了集成和不集成两种观点及其现实依据，同时展望MEMS集成的发展趋势。 集成是微机电系统(MEMS)的一种可行途径吗？当可能需要额外的时间并冒额外的风险时，MEMS项目应选择单芯片集成途径吗？也许将几块裸片置于同一封装内是一种更好的解决方案，但是应该采用什么样的标准呢？这个问题不容易回答，因为存在一些不确定因素，且常常只有在产品推向市场一段相当长的时间后才能最后确定其是否成功。MEMS集成是产品寿命周期中早期投资成本与后期投资回报
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