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上传时间: 2020-12-10
详细说明：赵葵银1，胡俊达1 ，吴俊2 （1.湖南工程学院，湖南 湘潭 411101；2.湘潭大学,湖南 湘潭 411105） 摘要：采用自调整因子混合式模糊PID控制方法，对单晶炉的提拉速度进行控制。工程实际运行表明，该方法不仅能够提高系统的鲁棒性，还可以提高系统的动静态性能，获得了满意的控制效果。 关键词：单晶炉; 提拉速度; 自调整模糊控制器 中图分类号：TP273+.2 文献标识码：A 文章编号：1003-353X(2003)03-0032-02 1 引言 随着IT产业的迅速发展，生产集成电路所需要的半导体材料单晶硅急剧增长。单晶硅的提拉速度控制，是在硅结晶生长开始时，用低速提拉，生长过程中匀速
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