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上传时间: 2020-12-10
详细说明：李留臣(西安理工大学晶体生长设备研究所，西安 710048)摘 要：阐述了降低真空系统漏气率的一些措施，包括真空系统设计中的结构设计、密封形式的选择、密封材质的选用等，提出了一种新型的静密封结构，提高了真空系统的密封性能。关键词：真空；密封；漏气率；密封结构文章编号：1004-4507(2004)06-0051-03随着科学技术的飞速发展，在半导体工业、表面科学、真空冶金、生物制药、新材料生产与研究等科研与生产领域中，真空系统的应用越来越广泛，并且向更高的要求发展，因此，如何设计真空系统，提高系统的密封性，降低系统的漏气率，是使真空系统更好的为现代工业发展服务的关键所在。西安理工大学晶体生长设
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