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上传时间: 2020-12-09
详细说明：在晶圆制造的整个过程中，晶圆要经过多次的化学刻蚀与清洗，每步刻蚀与清洗后都要经过清水冲刷 。在整个的制造过程中，晶圆总共要在冲洗的系统中待上好几个小时，一个现代的晶圆制造厂每天要使用多达几百万加仑的水，这样实际上产生了一个投资项目，包括水的加工处理、向各个加工工艺区的水的传输、废水的处理与排放17。由于半导体器件容易受到污染，所以所有工艺用水，必须经过处理，达到非常严格的洁净度要求。 城市系统中的水包含大量的洁净室不能接受的污染物： 1. 溶解的矿物 2. 颗粒 3. 细菌 4. 有机物 5. 溶解的氧气 6. 二氧化碳 普通水中的矿物质来自盐份，盐份在水中分解为离子。例如，食盐（氯化纳）会分
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