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上传时间: 2020-12-09
详细说明：（1、中国科学院电工研究所，北京100080；2、中国科学院研究生院 北京100039） 摘要：聚焦离子束技术是一种集形貌观测、定位制样、成份分析、薄膜淀积和无掩模刻蚀各过程于一身的新型微纳加工技术。它大大提高了微电子工业上材料、工艺、器件分析及修补的精度和速度，目前已经成为微电子技术领域必不可少的关键技术之一。对聚焦离子束曝光技术作了介绍。 关键词：聚焦离子束，液态金属离子源，曝光 中图分类号：TN305.7 文献标识码：A 文章编号：1004－4507（2005）12－0056－03 聚焦离子束也可以像电子束那样作为一种曝光手段。离子束曝光有非常高的灵敏度，这主要是因为在固体材料中的能量转
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