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上传时间: 2020-12-09
详细说明：(西安理工大学，陕西西安 710048)摘 要：介绍了TDR-46X型单晶炉的设计思路及工作原理，结合拉制单晶的特殊工艺要求,分析了其主要结构及特点。关键词：单晶炉； 结构； BS法； 炉室上升中图分类号：TF806．9 文献标识码：B 文章编号：1004-4507(2005)03-0004-28晶体生长设备(俗称单晶炉)按照晶体生长方法可分为提拉法单晶炉、坩埚下降法单晶炉、区熔法单晶炉等等。坩埚下降法单晶炉可简称为下降炉。坩埚下降法简称BS法，是将盛有熔体的坩埚在具有一定温度梯度的生长炉内缓慢下降，使熔体转化为单晶体。这个过程可以是坩埚下降，也可以是结晶炉沿着坩埚上升。在国产单晶炉中，仅有两
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