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文件名称: OPC工具挺进DFM
  所属分类: 其它
  开发工具:
  文件大小: 61kb
  下载次数: 0
  上传时间: 2020-12-08
  提 供 者: weixin_********
 详细说明:Sigma-C和Mentor Graphics公司共同为IC设计团体带来了曙光。设计者们一直希望他们的设计进入制版工艺前,能在IC布局中发现并修正光刻中的过热点。为此Sigma-C公司已经推出了专为设计和OPC(optical-proximity correction,光学邻近校正)应用的Solid+微光刻模拟器。  与此同时,Mentor Graphics的Calibre小组也向掩模制造者推出了一种工具。该公司称,这种产品领先的基于像素的模拟引擎为更强大的产品(即今年将推出以设计为核心的微光刻模拟器)奠定了良好的基础。目前,处理的几何尺寸已经减小到90nm以下,掩模成本高达数百万美元。因此D
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