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EL6249C及其在MEMS动态测试中的运用
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上传时间: 2020-12-13
详细说明：EL6249C及其在MEMS动态测试中的运用
[日期：2004-12-8] 来源：国外电子元器件 作者：金翠云 李一博 王立坤 靳世久 [字体：大 中 小]
摘要：EL6249C是美国Elantec半导体公司推出的四通道激光二极管电流放大器。文中根据频闪成像原理，利用EL6249C设计了一套频闪驱动电路，该驱动电路可驱动高亮LEC，以产生MEMS动态测试中所需的频闪光，为后续MEMS器件的动态特性提取和分析做准备。
关键词：MEMS EL6249C 动态测试 频闪
１ 引言
微电子机械系统（ＭＥＭＳ）是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的新兴学
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