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上传时间: 2020-12-09
详细说明：(沈阳芯源先进半导体技术有限公司，辽宁沈阳)摘 要：仅就电子生产设备中输送类机器电机驱动机构的特性及较好的控制方法进行了分析讨论。主要比较了运动速度随时间变化的函数曲线为梯形和S形曲线时，其性能的优劣。关键词：梯形曲线；S形曲线；冲击量；振动；频率；加速度中图分类号：TP211+2 文献标识码：A 文章编号：1004-4507(2005)-03-0003-25自动化装配设备中的电动机，总是在短时间内，频繁地快速启动、快速停止和间歇的运动方式。实现此种工作方式的首选控制方法是S-形曲线控制法。在芯片制作设备中，对此要求特别高，例如K&S公司的管芯粘结系统。实现电机转速随时间变化的函数曲线呈现S形
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