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上传时间: 2020-12-09
详细说明：朱乐仪，黄信凡，王 立，王晓伟，马忠元，李 伟，陈坤基(南京大学物理系，固体微结构物理国家重点实验室，江苏南京 210093)摘要：利用相移光栅模板使KrF准分子激光形成强度周期分布的激光束，定域晶化a-Si：H(4am)／a-SiNx：H(10nm)多层膜中的超薄a-Si：H层，成功地制备出了三维有序分布的nc-Si阵列。原子力显微镜(AFM)、微区喇曼光谱、剖面透射电子显微镜(X-TEM)及高分辨电子显微镜HREM)技术分析揭示了晶化后薄膜中形成了横向周期与移相光栅周期相同、纵向周期与a-Si：H／a-SiN。：H多层膜周期(14am)相等的nc-Si阵列。 关键词：激光晶化；纳米硅；微结
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