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上传时间: 2021-03-24
详细说明：硅材料是一种脆性非常高的材料，切割的时候很容易发生断裂，加工过程中产生缺陷的原因非常复杂，比金属材料更难加工，硅材料在实际的多线切割过程中容易产生微裂纹，微裂纹的产生将减少的硅材料的强度，随着切割过程中的机械振动，很容易在切割的部位发生断裂破坏，严重影响到硅片最终的质量。 有研究表明，在硅材料的切割过程中，主要有两种去除方式，一种是脆性断裂切除，一种是塑性变形切除。脆性断裂切除在硅材料的切割顶端会产生裂纹，产生的裂纹会使硅片表面损伤增加；而塑性变形切除是将硅棒在塑性区域内切除，同时在被切割的过程中，硅材料形成塑性切割，这也就产生了切削。 游离磨料多线切割以两种方式除去硅材料：去除脆性断裂和塑
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