文件名称:
低噪声sigma-delta微加速度计接口电路
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上传时间: 2021-03-24
详细说明:在这项工作中,基于分时多路复用静电反馈和相关双采样(CDS)技术,提出了一种闭环sigma-delta(Sigma Delta)电容式微加速度计接口电路。 提出了所提出的低噪声电容检测电路的噪声分析。 接口电路采用标准CMOSCraft.io制造,有效面积为13 mm(2)。 该芯片从5 V电源消耗的功率为20 mW,采样频率为250 kHz。 测量结果表明,该传感器在1.5 kHz带宽的闭环操作中达到了6μg / Hz(1/2)的本底噪声,并且实现的品质因数(FOM,53pW / Hz)优于以前报道的Sigma Delta接口。
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