在这项工作中，基于分时多路复用静电反馈和相关双采样（CDS）技术，提出了一种闭环sigma-delta（Sigma Delta）电容式微加速度计接口电路。 提出了所提出的低噪声电容检测电路的噪声分析。 接口电路采用标准CMOSCraft.io制造，有效面积为13 mm（2）。 该芯片从5 V电源消耗的功率为20 mW，采样频率为250 kHz。 测量结果表明，该传感器在1.5 kHz带宽的闭环操作中达到了6μg / Hz（1/2）的本底噪声，并且实现的品质因数（FOM，53pW / Hz）优于以