氮化硅碳（SiCN）纳米线，纳米棒和纳米管由于其出色的场发射和光致发光特性而备受关注。 这些纳米结构通常使用催化剂在高温（800-1000摄氏度）下生长。 在本文中，报道了在小于500摄氏度的温度下合成SiCN纳米结构。 利用微波等离子体化学气相沉积法合成了多种SiCN纳米结构。 将CH4，H-2和N-2的气体混合物用作前体，并将硅片作为额外的硅源插入到样品架中样品周围对称位置的位置。 金属镓以类似于气液固的机理被用作液体介质。 通过场发射扫描电子显微镜表征所得物的形态。 能量色散光谱法和X射线