已制造出微透镜集成的底部发射980 nm垂直腔面发射激光器（VCSEL），发射窗口Kong径为400μm。 具有九个InGaAs-GaAsP量子阱和n型分布式布拉格反射器（n-DBRs）的反射率略有下降的新型材料结构可用于增加输出功率。 通过单步扩散限制湿法刻蚀技术在GaA.s基板上制造凸微透镜。 在横向氧化之后，活性层的直径为大约200μm，并且微透镜的标称直径为400μm。 在室温下连续波运行时，最大输出功率为200 mW。 单个器件在4A电流下的远场发散角theta（平行）和theta（垂