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  1. 零补偿干涉检测实现及误差量规律

  2. 针对大口径离轴光学非球面反射镜的特殊工艺性,在合理设计零补偿器结构形式的基础上,综合考 虑零补偿器各组件的误差参量做进一步优化. 利用零补偿器实施非球面元件面形干涉检测过程中,着重分析 调整误差对检验精度的影响,建立误差标定模型. 以一块二次离轴非球面反射镜为实例进行了计算机模拟分 析,得到对应不同调整误差的干涉图样,可以为快速地调整补偿器与被检元件之间相互位置提供参考,有助 于获得指导加工的真实面形结果.

  3. 所属分类：制造

    • 发布日期：2013-04-09
    • 文件大小：250kb
    • 提供者：ljt112288

  1. 用计算全息标校补偿器的技术

  2. 用计算全息(CGH)模拟理想非球面主镜的反射波面,用补偿器对该计算全息进行检验,只要计算全息的制作误差能够满足要求,就能实现直接对补偿器的标校。介绍了计算全息标校补偿器的原理、方法,并进行了误差分析。实验采用电子束制作的计算全息实现了对850 mm F/2抛物面主镜补偿器的标校,补偿器产生的标准非球面精度不低于计算全息模拟的主镜面形精度,均方根(RMS)误差为0.012λ。研究表明,用计算全息模拟主镜反射波面对补偿器进行标校是一种行之有效的方法,结合先进的微电子制造技术,可实现对补偿器的高精度

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-26
    • 文件大小：145kb
    • 提供者：weixin_38747917

  1. 反射镜补偿检验

  2. 在光学加工中,反射镜可以很好地补偿待检镜,解决加工中的一些难题。通过三级像差理论求解反射镜补偿检验二次曲面的初始结构参量,令球差系数∑S1=0,补偿镜e21可选择球面或椭球面,推导出补偿镜和待检镜之间关系的表示式。e21=0、0.1、0.2、0.3、0.4,按公式画出e22/α～β,αr02/r01～β的曲线图,从中确定β∝α,e21,e22,r01,r02,d12的对应关系,解出补偿检验的初始结构参量,分析补偿镜放置待检镜曲率中心前α>0,α>1和后α<0、β≥0,β≤0对应

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-12
    • 文件大小：592kb
    • 提供者：weixin_38595689

  1. 大非球面度快焦比中大口径高次非球面检测

  2. 近年来, 大口径、大非球面度、快焦比、高次非球面光学元件在天文光学、空间光学和地基空间目标探测与识别等领域得到了越来越广泛的应用。目前对此类光学元件的检测一般采用零位补偿法或消回程误差的非零位检测法。其中消回程误差的非零位补偿法处理过程复杂, 缺乏检测直观性, 且测量精度无法保证, 故在针对一些面形精度要求非常高的镜面时并不适用。以口径为1020 mm、焦比为1/0.5、非球面度为1.8 mm、高次项达6次的凹高次非球面反射镜检测为研究基础, 提出了分阶段设计零位补偿检验光路的新思路, 以满足此

  3. 所属分类：其它

  1. 大口径碳化硅非球面反射镜加工与检测技术

  2. 虽然非球面元件具有无比的优越性，但是大型非球面元件的加工和检测都要比球面困难得多，主要因为大多数的非球面元件只有一个对称轴，而球面却有无数条对称轴，所以，非球面元件不可以采用球面元件加工时的范成法原理进行加工。非球面元件上各点处的曲率半径不同，在进行抛光加工时，元件面形难以修正。非球面的检测也不像球面检测那样容易实现，如在干涉检验时，需要采用补偿元件，从而使得检测过程复杂并且费时。

  3. 所属分类：其它

  1. 基于双回转相位板的非球面子孔径测量技术

  2. 子孔径拼接技术与补偿检验技术的结合能够增加干涉仪的横向和垂直动态测量范围，适用于大口径、大非球面度的非球面的面形测量。利用一对相向回转的Zernike相位板作为近零位补偿器，产生可变的像差，补偿不同非球面在不同离轴位置的子孔径像差，使其剩余像差减小到干涉仪的垂直动态测量范围内。通过计算两个待测非球面的子孔径像差，求解Zernike相位板的相位函数；同时结合四台阶刻蚀工艺和载频技术，成倍提高衍射效率并隔离干扰衍射级次的影响。以同温层红外线天文台(SOFIA)望远镜的凸双曲面次镜和凹非球面反射镜为例

  3. 所属分类：其它

  1. 大口径大偏离量非球面反射镜复合检测技术

  2. 为了克服大口径大偏量非球面面形测量的困难，将光学干涉技术、零位补偿技术、哈特曼波前探测技术和子孔径拼接技术融合在一起，提出了大口径非球面复合检验技术。对该方法的基本原理和具体实现过程进行了分析和研究。当非球面研磨完成后，搭建零位补偿干涉光路，并使光路转折，利用动态范围很大的哈特曼波前传感器对大口径非球面反射镜进行多个子孔径相位数据的测定，并通过子孔径拼接算法求解得到非球面整个口径的面形误差分布。当非球面面形误差的峰谷(PV)值小于5λ（λ=632.8 nm）时，利用复合检测技术对一大口径非球面进

  3. 所属分类：其它