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  1. 基于纳米光栅检测的微陀螺仪的结构设计与仿真

  2. 微型陀螺仪操作的核心概念是检测弱的科里奥利力。 我们详细描述了基于纳米光栅检测的光学微陀螺仪的工作原理。 双层反射金属纳米光栅用于检测作用在陀螺仪上的科里奥利力。 为了分析其结构灵敏度,配置了陀螺仪的仿真模型,结果表明该结构实现了良好的模态匹配,并且结构灵敏度为6.402 nm /°/ s。 此外,在光学仿真中对纳米光栅的结构进行了分析,并对几个结构参数进行了公差分析,以洞悉实现实际的器件。 最后,在SIMULINK环境中实现了陀螺仪系统的模型。 使用从计算中获得的参数值,对纳米光栅陀螺仪的仿真
  3. 所属分类:其它